JRS® Koper® 全氟弹性体部件已成功地应用于高侵略性密封的环境,并获得客户的广泛认可。
JRS®Koper®是一款结合了回弹性和密封性两个特点,并具有氟聚合物树脂的化学惰性和热稳定性的橡胶密封圈产品。JRS®Koper®密封产品能抵抗超过1800种化学物质的攻击,包括活性气体和等离子体,碱,酸和溶剂。即使在接触这些腐蚀性化学品,JRS®Koper®密封产品保持弹性性能的温度可高达325°C。
JRS®Koper®密封产品具有优良的耐化学性和热稳定性,经过特殊的配方和超纯加工,以满足晶圆加工环境的独特要求。
随着半导体行业密封需求的不断发展,凭借多年行业经验积累,JRS®将持续推出新产品,不断提高密封寿命和降低工艺污染水平,更好的服务于半导体行业。
Koper® 567
优异耐化学性,适用于湿制程工艺
Koper® 007
超洁净,适用于涉及到等离子的工艺制程
Koper® 807
耐高温,适用于高温环境的工艺制程
Koper® 207
耐高温,适用于高温环境的工艺制程